R&D情報 / Si基板の紹介
HDDおよびその他用途向けSi基板
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供給可能基板寸法 |
0.85 inch (OD 21.60mm, ID 6.01mm, t 0.38mm) 1 inch (OD 27.40mm, ID 7.00mm, t 0.38mm) 1.3 inch 1.89 inch (OD 48.0mm, ID 12.00mm, t 0.51mm) |
|---|---|
ラフネス |
0.09 ~ 0.16 nm(AFMでの測定値) |
ウェビネス |
約0.2 nm(Optiflatでの測定値) |
マイクロウェビネス |
0.25 nm 以下(Zygo New Viewでの測定値) |
ナノウェビネス |
約 0.13 nm(OSA5100 での Topographic modeで測定) |
ロールオフ |
28 nm 以下(1 inch 基板、Zygo New Viewでの測定値) |
真円度 |
6 μm 以下(1 inch 基板、Round Testerでの測定値) |
同芯度 |
3 μm 以下(1 inch 基板、Round Testerでの測定値) |
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図をクリックすると、拡大図が表示されます。
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項目 |
単結晶Si |
|
|---|---|---|
密度 |
g / cc |
2.30 |
結晶方向 |
- |
(100) |
ドーパント |
- |
B |
ヤング率 |
kg / mm2 |
12,000 |
ビッカース硬度 |
- |
950 |
熱伝導率 |
W / mK |
126 |
熱膨張率 |
1 / K |
3.0 X 10-6 |
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