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Si基板の紹介

HDDおよびその他用途向けSi基板

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主な特長

供給可能基板寸法
(HDD用)

0.85       inch (OD 21.60mm, ID 6.01mm, t 0.38mm)

1            inch (OD 27.40mm, ID 7.00mm, t 0.38mm)

1.3         inch

1.89       inch (OD 48.0mm, ID 12.00mm, t 0.51mm)

ラフネス

0.09 ~ 0.16 nm(AFMでの測定値)

ウェビネス

約0.2 nm(Optiflatでの測定値)

マイクロウェビネス

0.25 nm 以下(Zygo New Viewでの測定値)

ナノウェビネス

約 0.13 nm(OSA5100 での Topographic modeで測定)

ロールオフ

28 nm 以下(1 inch 基板、Zygo New Viewでの測定値)

真円度

6 μm 以下(1 inch 基板、Round Testerでの測定値)

同芯度

3 μm 以下(1 inch 基板、Round Testerでの測定値)

表面観察

図をクリックすると、拡大図が表示されます。

AFM

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ZYGO New View

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Siの主な性質

項目

単結晶Si

密度

g / cc

2.30

結晶方向

-

(100)

ドーパント

-

B

ヤング率

kg / mm2

12,000

ビッカース硬度

-

950

熱伝導率

W / mK

126

熱膨張率

1 / K

3.0 X 10-6

Si基板の製造工程

製造工程

お問合せ先

信越化学工業(株) 磁性材料研究所 第三部開発室 担当:津森

住所              〒915-8515福井県越前市北府2-1-5

TEL               0778-21-8143

FAX               0778-23-8538

E-mail           t_tsumo@shinetsu.jp

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